电容式传感器是以各种类型的电容器作为传感元件，将被测转物理量或机械量换成为电容量变化的一种转换装置，实际上就是一个具有可变参数的电容器。电容式传感器广泛用于位移、角度、振动、速度、压力、成分分析、介质特性等方面的测量。常用的是平行板型电容器或圆筒型电容器。

　　①温度稳定性好

　　传感器的电容值一般与电极材料无关，但仅取决于电极的几何尺寸，且具有强度和温度系数等机械性能，空气的介电损耗很小。综合考虑，可以合理选择材料和几何尺寸。其他因素(因为热量很低)，影响很小。电阻传感器有电阻，通电后会发热。电感式传感器有铜损、涡流损耗等，本身发热到零漂移。

　　② 结构简单，适应性强

　　电容式传感器结构简单，易于制造。它在高低温、强辐射、强磁场等各种恶劣环境条件下运行，适应性强，能承受特别大的温度变化。即使在高压、高冲击和过载的情况下也能正常运行。它可以测量超高压和低压降，也可以测量磁性工件。此外，还可以缩小传感器的尺寸以满足一些特殊的测量要求。

　　③ 静电吸引力小

　　由于电容式传感器的两个电极板之间的静电场，静电引力或扭矩作用在电极板上。静电引力的大小与工作电压、介电常数和极间距离有关。一般来说，这种类型的静电重力很小，只有对压力较小的弹性敏感元件才需要考虑静电重力引起的测量误差。

　　④动态响应好

　　因为电容传感器的极板之间的静电吸引力很小(约10-5N)，所需的能量很小，运动部件可以做得很小很薄，也就是重量就是固有频率。非常高，具有较短的动态响应时间，并且可以在几 MHz 的频率下运行，使其特别适用于动态测量。此外，低介电损耗允许以更高的频率传输功率，从而在系统中产生更高的工作频率。可用于测量振动、瞬时压力等快速变化的参数。

　　⑤ 可实现非接触测量，效果平均。

　　如果 DUT 无法进行接触测量，则电容传感器可以完成测量任务。使用非接触式测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减少工件表面粗糙度对测量的影响。

　　除上述优点外，电容式传感器在电极和极板之间的静电吸引力很小，只需要很少的输入能量，从而产生很低的压力、力和低测量值，特别适用于能量输入测量。加速度、位移等可以做得很灵敏很灵敏，你可以感觉到0.001μm以下的位移。